六氟乙烷的性质及应用

2019-02-26

一、低温制冷的应用

制冷剂必须具备热力学性质、安全性、腐蚀性与润滑油的溶解性、水溶性、充注量、导热系数等,而六氟乙烷优良的热力性能和无毒、不可燃的安全性、分子结构的稳定性使其非常适合应用于超低温冷冻系统。但由于偏高的GWP值使六氟乙烷成为温室气体,远期推广应用的前景受到限制,需要开发新的替代品。

二、电子产品的清洗及蚀刻应用

电子气体在半导体制造过程中一直扮演着重要的角色,气体的纯度对组件性能、产品优良率有着决定性的影响。六氟乙烷因其无毒无臭、高稳定性被广泛应用在半导体制造过程中,例如作为蚀刻剂、化学气相沉淀。特别是对电路精度要求越来越高,常规的湿法腐蚀已经不能满足高精度细线蚀刻的要求,而六氟乙烷作为干腐蚀剂具有边缘侧向侵蚀现象极微、高蚀刻率及高精准性的优点,可以极好地满足此类线宽较小的制程的要求。

三、医学领域的应用

在医学领域方面,六氟乙烷作为一种理化性质介于六氟化硫和八氟丙烷之间的长效气体,应用于巩膜扣带术中,取得良好效果,成为黄斑裂孔性视网膜脱离手术中较为理想、安全并可提高手术治愈率的玻璃体替代物。