锗烷生产尾气的处理

2021-12-17

锗烷是通式为GenH2n+2的一系列锗与氢的化合物的总称。锗烷在电子工业中主要用于化学气相淀积,形成各种不同的硅锗合金用于电子元器件的制造。


一般来讲锗烷即指甲锗烷,常温下为有毒、易燃和无色的气体,分子式GeH4。锗烷为无色、剧毒、可自燃、非腐蚀性气体,热稳定性差,160 ~ 180 ℃时锗烷缓慢氧化,大约在280 ℃就能检测到锗烷分解为锗和氢,在350 ℃锗烷几乎全部分解成单质锗和氢气。


锗烷的自催化性很强,一旦分解形成了金属覆盖膜,就会急剧分解,故其分解爆炸危险性很高。锗烷一般通过化学还原法、电化学反应法、等离子合成法合成,在半导体工业上有重要的用途。


锗烷为剧毒,可分解爆炸物质,因此对整个生产工艺流程设备材质的选择和处理方面有一定的难度,特别是对反应系统的密闭性和尾气的处理更应该重视,要考虑减少废水、废气排放量,并加强处理,含锗烷的尾气必须经过无害化处理,符合排放标准方能排放。